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分析和零件的檢測能力

零件的檢測能力 分析能力
零件的酸萃取分析 有機殘留物 – 紫外線螢光燈

表面粗糙度量測

 ICP – MS 能力
外形尺寸量測

無機殘留物

電氣 (電導)

 晶圓的VPD萃取分析
QIII表面微粒子檢查 化學藥品和純水分析測試

薄膜和陽極膜厚度量測

無塵室組件及耗材分析測試

    精密放大鏡燈
       
分析和零件的檢測能力 (第二期即將引入)
平坦度檢測 液態微粒子分析儀
氦檢漏 CMM 測量儀
元素分析    
       

 
 
   
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